探针卡是半导体制造中使用的机电接口,通过各种接触探针连接到晶圆电路。通过在切块和封装前测试每块芯片的电气可行性,芯片制造商可以及早发现电气缺陷。
探针卡需要尺寸计量以测量关键物理特性,如探针尖端高度均匀性、横向位置和外径。VIEW的非接触光学计量系统可用于测量探针尖端位置和平面性、形状、直径和间距,并能可靠地检测与探针磨损、损坏或缺失相关的缺陷。